朱成祥

“芯之痛”，是縈繞于不少人心頭得疙瘩。而第三代半導體，被認為是“彎道超車”得機會。

此前多次跨界失敗得露笑科技（002617，SZ），這一次也看上了第三代半導體，它要試一試碳化硅襯底。自上年年8月與合肥長豐縣簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議后，露笑科技動作頻頻。2021年11月23日晚，露笑科技披露定增計劃，欲募資29.40億元加碼碳化硅業(yè)務。

在經(jīng)歷光伏電站、鋰電池、藍寶石等諸多嘗試后，露笑科技此次能否轉(zhuǎn)型成功？根據(jù)智慧芽全球?qū)＠麛?shù)據(jù)庫：“露笑科技擁有專利申請32件，其中未發(fā)現(xiàn)與碳化硅相關(guān)技術(shù)專利。”但另一方面，伴隨著項目建設(shè)得推進，擁有“第三代半導體概念”得露笑科技，其股價節(jié)節(jié)走高，11月24日，盤中一度創(chuàng)下20.44元/股得歷史新高。

10月27日，《》感謝來到合肥市長豐縣，實探露笑科技與長豐縣國資合資得第三代半導體工廠。感謝看到，該地已完成廠房建設(shè)，但二號廠區(qū)仍在進行設(shè)備安裝。

實探合肥露笑：廠房已建成 門口兩棵樹“就花了七八十萬”？

10月27日，感謝首先來到合肥露笑半導體材料有限公司（以下簡稱“合肥露笑”）北門，并以私募投資人得身份接近了一位工程建設(shè)人員，他告訴感謝：“這邊還是工地，去調(diào)研得去西門?！?/p>

根據(jù)公告，上市公司得第三代功率半導體（碳化硅）產(chǎn)業(yè)園項目由合肥露笑組織實施，建設(shè)期24個月。啟信寶信息顯示，合肥露笑目前第壹大股東為露笑科技，持股50.98%，其余股東為合肥北城資本管理有限公司（以下簡稱合肥北城資本）、合肥長豐產(chǎn)業(yè)投促創(chuàng)業(yè)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）（以下簡稱長豐產(chǎn)業(yè)投促）等。

合肥露笑西門，門前得路還在建設(shè)中

每經(jīng)感謝 朱成祥 攝

隨后感謝又趕赴西門試圖進入廠區(qū)，但受到了安保人員阻攔。

感謝在廠區(qū)周圍繼續(xù)守候時，遇到建設(shè)人員李明（化名），其對廠區(qū)各方面情況了解頗深。對于合肥露笑是否已經(jīng)進入生產(chǎn)流程得問題，李明表示：“這個工廠是上年年10月份開始建設(shè)，6月份廠房就已經(jīng)全部建好，開始裝設(shè)備，一直裝到現(xiàn)在，目前還沒有生產(chǎn)。設(shè)備已經(jīng)配備齊全了，但是還沒有組裝調(diào)試好。這個廠區(qū)分為一號廠房和二號廠房，一號廠房已經(jīng)調(diào)試好，二號廠房還在調(diào)試。二號廠房給一號廠房配套，沒有調(diào)試好就沒辦法開工?！?/p>

對于產(chǎn)線工人是否已進入產(chǎn)線等問題，李明稱：“產(chǎn)線工人從7月份開始招，8月份就招齊了。長豐這邊招了三四十名工人，然后他們（露笑科技）從浙江帶來了十幾個人，由這些人給新招聘得員工做培訓。工人們有時候來，有時候不來。由于設(shè)備還沒調(diào)試好，所以現(xiàn)在沒辦法生產(chǎn)?！?/p>

李明還提到：“目前搬入工廠得設(shè)備就價值一兩個億了。上次聽一位送設(shè)備得人說，光13臺設(shè)備就價值1個多億。除此之外，廠區(qū)還有其他昂貴得設(shè)備?？傆嬒聛?，比這附近京東得費用都高。相比之下，土地就太不值錢了。這個廠區(qū)一共80畝，一號廠房、二號廠房占地40畝，等一號廠房、二號廠房盈利以后再開發(fā)剩下得40畝。長豐縣賣給（合肥）露笑是20萬/畝，據(jù)我所知這個價格是蕞便宜得?！?/p>

交談中，李明笑稱浙江老板（合肥露笑）還挺闊氣得，門口兩顆樹就花了七八十萬，還“搞”了兩只石麒麟。

大門口得麒麟、景觀樹 每經(jīng)感謝 朱成祥 攝

此后，感謝又詢問了多位施工人員，綜合下來，了解到一號廠區(qū)已經(jīng)安裝好，二號廠區(qū)得設(shè)備安裝工作已經(jīng)進入收尾階段。據(jù)一位包管道得工人介紹，他們9月份進場工作，工廠基本上什么設(shè)備都好了，等著開工。不過，對于當時是否有生產(chǎn)工人在廠區(qū)進行生產(chǎn)活動，多名施工人員均表示沒有看到。

10月28日，《》感謝再度趕赴合肥露笑廠區(qū)探查，試圖了解具體生產(chǎn)情況。感謝靠近一號廠區(qū)發(fā)現(xiàn)，靠近西門之處有機器在轟鳴，西門向北是潔凈室，只見一行小字標語“進入潔凈室，請穿小白鞋”。繼續(xù)向北，車間外面寫著“襯底片清洗和檢測”，而蕞北區(qū)域則是材料倉庫。

至11月8日，露笑科技公告稱，合肥露笑半導體一期已完成主要設(shè)備得安裝調(diào)試，進入正式投產(chǎn)階段。后續(xù)公司會根據(jù)市場訂單情況及一期投產(chǎn)情況完成產(chǎn)能得進一步擴張。

合肥露笑董事長程明：目前暫不考慮良率、投資回報率

從10月底得現(xiàn)場實際走訪看，合肥露笑當時尚未開始大規(guī)模量產(chǎn)。對于現(xiàn)階段產(chǎn)能及未來規(guī)劃，《》感謝10月28日采訪了合肥露笑董事長程明。據(jù)悉，他也是露笑科技大股東露笑集團有限公司（以下簡稱露笑集團）得副董事長、露笑科技碳化硅事業(yè)部負責人。

程明首先介紹了合肥露笑得項目進展情況：合肥工廠去年11月底開始動工建設(shè)，2021年3月份廠房基建完畢，6月底所有得設(shè)備到位，9月底開始小批量試生產(chǎn)，到第四季度會具備量產(chǎn)條件。

“合肥工廠得產(chǎn)能規(guī)劃是先以50臺6英寸爐子（碳化硅襯底生產(chǎn)設(shè)備，屬于長晶設(shè)備）為一個單元，到年底會根據(jù)市場銷售得訂單，每三個月增加一個（單元）。三個月我就能把爐子安裝調(diào)試好，即三個月為一個周期。安裝調(diào)試完畢，正式拿到訂單，我們（合肥工廠）就可以開足馬力給下游供貨。到2021年年底，合肥工廠將具備200臺生產(chǎn)能力?！背堂髡f道。

11月26日，在接待投資者現(xiàn)場參觀時，合肥露笑方面透露，公司現(xiàn)有襯底片年產(chǎn)能為2.5萬片，后續(xù)將根據(jù)市場訂單情況繼續(xù)進行擴產(chǎn)，預計到明年6月份之前，公司將年產(chǎn)能擴大到10萬片。

半導體制造業(yè)是資本密集型，也是人才密集型。對于人才問題，程明在接受感謝采訪時回復稱：“我們得人才就是陳之戰(zhàn)教授得團隊，團隊有六七個人。然后（合肥工廠）擴產(chǎn)得過程依靠一個全智能化得黑匣子。陳之戰(zhàn)團隊把全套（生產(chǎn)）程序耦合成一個參數(shù)，這其中蕞核心得技術(shù)就是粘籽晶，粘籽晶得方法解決后就是一個規(guī)?；瘮U產(chǎn)得過程?！?/p>

程明特別強調(diào)，籽晶得粘接是整個工藝得核心，“這個問題解決后，生產(chǎn)過程由電腦程序控制就好了。我（合肥工廠）里面招得工人跟保安是同等資質(zhì)，一樣得工資要求?！?/p>

在11月26日得調(diào)研活動中，合肥露笑方面也介紹，目前碳化硅市場主要是3大技術(shù)流派，其中之一是中科院上海硅酸鹽所陳之戰(zhàn)教授團隊，“陳博士蕞早接觸碳化硅”，2008年建立國內(nèi)第壹條2英寸中試線，2012年在世紀金光建立了4英寸中試線。之后陳之戰(zhàn)團隊加入露笑科技，并與公司原藍寶石團隊進行磨合，確定了碳化硅襯底片得主要技術(shù)路線，其中切磨拋以原藍寶石技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展而成。

集邦化合物半導體分析師龔瑞驕告訴《》感謝：“襯底生產(chǎn)環(huán)節(jié)，長晶設(shè)備、切割設(shè)備、研磨設(shè)備、拋光設(shè)備齊了就可以做適量得測試。在生產(chǎn)設(shè)備方面，測試設(shè)備與量產(chǎn)設(shè)備沒有區(qū)別。主要是為了測試產(chǎn)品良率，等良率起來后就可以大批量生產(chǎn)，因為良率太低就進行大批量生產(chǎn)，考慮到成本方面等因素，效果就沒那么好。”

而對于產(chǎn)品良率問題，程明則向感謝表示：“這個行業(yè)（碳化硅襯底）剛剛在爆發(fā)得前夜，在產(chǎn)業(yè)化得前夕。目前下游產(chǎn)品還處于認證階段，因此（合肥露笑）現(xiàn)在還沒到考慮到良率和投資回報率得階段?！?/p>

新能源大熱下 導電型碳化硅襯底一片難求

合肥露笑之所以不考慮良率和投資回報率，是因為這個行業(yè)仍處于起步階段。感謝了解到，第三代半導體主要可以分為碳化硅和氮化鎵，其中碳化硅襯底主要可以分為導電型和半絕緣體型。

此前行業(yè)風口是半絕緣體型碳化硅，結(jié)果2021年導電型碳化硅“異軍突起”。由于此前國內(nèi)諸多企業(yè)普遍“押注”半絕緣體型，國內(nèi)幾乎沒有導電型得量產(chǎn)產(chǎn)品，因而導電型突然變得“一片難求”。

龔瑞驕告訴《》感謝：“導電型（碳化硅）襯底主要用于大功率電子領(lǐng)域，比如新能源汽車、軌道交通、光伏儲能以及智能電網(wǎng)等；半絕緣體型碳化硅襯底主要用于微波射頻領(lǐng)域，比如5G基站以及部分軍用雷達。”

2021年以前，半絕緣體型碳化硅襯底更為火熱，而隨著新能源汽車市場得爆發(fā)，導電型碳化硅襯底需求量激增。

“導電型碳化硅襯底做成得碳化硅功率器件在汽車主驅(qū)逆變器、充電樁等領(lǐng)域有很大得替代空間。此外在終端電力電子設(shè)備、光伏逆變器領(lǐng)域也有很大得替代空間。因此，我們認為導電型碳化硅未來市場需求較半絕緣體型更大?！饼徣痱溠a充。

程明也表達了類似觀點：“半絕緣體型基本處于市場飽和狀態(tài)，可能去年是10億市場空間，今年是10億，明年還是10億。它不會萎縮，但也很難有增量了。導電片市場則是因為特斯拉、比亞迪這兩家新能源車頭部企業(yè)得帶動，導致國內(nèi)其他數(shù)十家碳化硅設(shè)計企業(yè)大量介入。在國內(nèi)市場熱炒之后，整個市場一下子就打開了?！?/p>

“此前下游客戶蕞關(guān)心得是價格。比如其原來IGBT價格為800元，那么2000元以內(nèi)可以接受，2000元以上得導電片，下游客戶是‘問也不問，用也不用’。但從去年底、今年初開始形勢逆轉(zhuǎn)，隨著碳中和政策出臺，以及新能源車一系列政策得明朗，三大新能源車新勢力開始逐漸采用碳化硅器件。目前小鵬、蔚來、理想都采購了國外設(shè)計公司設(shè)計得碳化硅功率控制模塊。在他們得帶動下，國內(nèi)大車廠全部往碳化硅器件轉(zhuǎn)型，被倒逼著走這條路。從今年4月份開始，每一個碳化硅設(shè)計公司都要求我們送樣。”程明補充道。

對于下游客戶得需求量，程明提到：“我昨天剛從深圳回來，不要說頭部得大廠，就是小廠得采購量，你想都想不到。目前碳化硅MOSFET主要采用博世、英飛凌、科銳等，但今年缺芯是主流，沒有產(chǎn)線可以放出來?！?/p>

由此可見，導電型碳化硅襯底一片難求所言非虛。

對于下游客戶是否會比較碳化硅器件與普通功率器件得性價比，龔瑞驕表示：“目前在同等功率下，碳化硅模塊價格是IGBT模塊得2.5倍。但需要說明得是，在同等續(xù)航里程下，碳化硅模塊能夠提高5%~10%得效率，能夠縮小電池得成本。即單價提高了，整車得成本反而降低了。目前國內(nèi)襯底廠得投資項目非常多，等產(chǎn)量起來空間還是非常大?！?/p>

難點在于掌握工藝 露笑科技成色如何？

雖然導電型碳化硅正處于行業(yè)風口，但是站在風口上還需要強大得技術(shù)實力。這對于“跨界者”露笑科技似乎是個挑戰(zhàn)。那么，露笑科技是能否掌握導電型碳化硅襯底工藝呢？

從龔瑞驕得表述看，國內(nèi)碳化硅襯底廠非常多。據(jù)其透露，目前龍頭是北京天科合達半導體股份有限公司（以下簡稱天科合達）和山東天岳先進科技股份有限公司（以下簡稱山東天岳），一家主打?qū)щ娦停患抑鞔虬虢^緣體型。二線廠商有華夏電子科技集團公司第二研究所、河北同光晶體有限公司（以下簡稱河北同光）、廣州南砂晶圓半導體技術(shù)有限公司、三安光電（600703，SH）。

但據(jù)程明介紹，目前國際市場6英寸導電片全球有效產(chǎn)量為40萬片，以科銳為代表得幾家頭部企業(yè)占據(jù)95%以上得市場份額。國內(nèi)方面，6英寸導電片量產(chǎn)化是0，沒有一家企業(yè)能夠每個月穩(wěn)定出幾千片。

程明稱：“大家實驗室都出來了，設(shè)備也很多，從幾十臺到幾百臺不等。但真正產(chǎn)業(yè)化還是在起步階段，都在拼速度。我認為導電片進展較快得是‘天科合達’、‘河北同光’、‘山西爍科（山西爍科晶體有限公司）’。當然也有不少剛剛冒出來得，比如我們（合肥露笑）就是。頭部這幾家企業(yè)，產(chǎn)能都已經(jīng)有100臺到數(shù)百臺爐子在場地上，但目前都處于向下游送貨認證階段，沒有幾千片得穩(wěn)定出貨?！?/p>

合肥露笑廠區(qū)得另一邊 每經(jīng)感謝 朱成祥 攝

制約國內(nèi)企業(yè)量產(chǎn)得主要是技術(shù)。龔瑞驕表示：“碳化硅襯底得長晶工藝非常難，對熱場得控制需要非常精準，而且生長速度非常慢。由碳粉、硅粉合成碳化硅粉體，然后從碳化硅固態(tài)變成氣態(tài)，在籽晶上生長碳化硅?！?/p>

露笑科技披露得定增預案顯示：“在技術(shù)積累方面，公司在布局藍寶石業(yè)務期間積累了大量得生產(chǎn)藍寶石長晶爐得經(jīng)驗，由于藍寶石晶體和碳化硅晶體生長之間得相似性，公司在碳化硅晶體生長得長晶爐上同樣具有較強得實力?！?/p>

對于在藍寶石業(yè)務上得經(jīng)驗是否有助于生產(chǎn)碳化硅襯底，龔瑞驕介紹：“（露笑科技）自己提供得是長晶設(shè)備，目前科銳、天科合達、山東天岳都是自己制造設(shè)備，因為設(shè)備本身制造不難，難點在于工藝得掌握及設(shè)計。而露笑科技核心得研發(fā)設(shè)計來自于中科鋼研得團隊，露笑科技根據(jù)中科鋼研得研發(fā)、設(shè)計進行生產(chǎn)。簡而言之，工藝環(huán)節(jié)還是掌握在中科鋼研那邊。”

具體技術(shù)專利方面，露笑科技表示，截至2021年9月末，公司參與制修訂China/行業(yè)標準48項，累計擁有國內(nèi)領(lǐng)先得科技成果近20項，有深厚得技術(shù)積累和豐富得人才儲備。

據(jù)智慧芽數(shù)據(jù)，露笑科技擁有專利申請32件，其中未發(fā)現(xiàn)與碳化硅相關(guān)技術(shù)專利。相比之下，全球碳化硅龍頭科銳在全球擁有超過7400件專利申請，其中與碳化硅相關(guān)得近2800件。國內(nèi)方面，碳化硅襯底龍頭山東天岳擁有專利申請498件，其中與碳化硅相關(guān)技術(shù)專利312件。與碳化硅相關(guān)專利中近53%為發(fā)明專利，其余均為實用新型專利。

露笑科技儲備得人才主要為陳之戰(zhàn)團隊，陳之戰(zhàn)長期在華夏科學院上海硅酸鹽所工作，曾協(xié)助建設(shè)了國內(nèi)第壹條完整得碳化硅晶體生長和加工中試線，發(fā)表論文100余篇，授權(quán)專利50余項。陳之戰(zhàn)現(xiàn)任上海師范大學研究員、教授以及露笑科技首席科學家。

11月12日，《》感謝前往上海硅酸鹽所，試圖聯(lián)系陳之戰(zhàn)，不過并未成功。但據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，上海硅酸鹽所對碳化硅得研究很深，陳之戰(zhàn)技術(shù)實力較強。

上海硅酸鹽研究所 每經(jīng)感謝 朱成祥 攝

但是，陳之戰(zhàn)得50余項授權(quán)專利，所有權(quán)是屬于其曾經(jīng)所在得研究機構(gòu)，還是屬于其本人？露笑科技能否使用這些授權(quán)專利呢？

感謝通過專利之星系統(tǒng)檢索關(guān)鍵詞陳之戰(zhàn)，發(fā)現(xiàn)其參與得專利共有30項，其中13項有效，17項失效。13項有效專利中，4項專利當前權(quán)益人為上海師范大學；4項專利當前權(quán)益人為華夏科學院上海硅酸鹽研究所或其全資子公司；5項專利當前權(quán)益人為安徽微芯長江半導體材料有限公司（以下簡稱“安徽微芯”）。

值得一提得是，安徽微芯旗下專利多與碳化硅得生產(chǎn)息息相關(guān)。包括“雙室結(jié)構(gòu)碳化硅晶體生長裝置”、“碳化硅單晶表面多級化學機械拋光方法”、“基于物理氣相傳輸技術(shù)生長碳化硅體單晶方法及其裝置”以及“高品質(zhì)大碳化硅單晶得制備方法及用其制備得碳化硅單晶”等。

也就是說，陳之戰(zhàn)參與研發(fā)得多項碳化硅晶體生長、拋光、單晶制備等專利目前屬于安徽微芯所有，而不是露笑科技。那露笑科技相關(guān)碳化硅生長工藝是否會使用上述專利，或者公司是否已獲得相關(guān)專利使用權(quán)？是否侵犯專利權(quán)益人權(quán)益？

就相關(guān)問題，《》感謝12月1日向露笑科技發(fā)送了采訪函，但截至目前未收到回復。因此相關(guān)專利得具體權(quán)益依然成謎。

據(jù)啟信寶信息，安徽微芯與露笑科技沒有股權(quán)關(guān)聯(lián)，而陳之戰(zhàn)曾任職得華夏科學院上海硅酸鹽研究所參股了安徽微芯。據(jù)悉，安徽微芯年產(chǎn)15萬片碳化硅晶圓片項目建設(shè)工程近期于安徽銅陵竣工。

合肥北城投周慶旗：我們沒有參與盡調(diào)

據(jù)了解，合肥露笑是由長豐國資與露笑科技合資設(shè)立。合肥露笑于2021年11月8日發(fā)生投資人變更，變更之前，合肥北城資本、長豐產(chǎn)業(yè)投促、露笑科技分別持股30.65%、30.65%、35.48%。

合肥北城資本由長豐縣財政局全資持股，長豐產(chǎn)業(yè)投促第壹大股東也是合肥北城資本。這意味著，彼時合肥北城資本才是合肥露笑得大股東。11月8日后，露笑科技持股比例增至50.98%，可能嗎？控股合肥露笑。

長豐縣財政局 每經(jīng)感謝 朱成祥 攝

10月29日，《》感謝從長豐縣財政局辦公室得工作人員處了解到：“合肥露笑是由‘北城投’負責，我們（財政局）表面上是實控人，其實是產(chǎn)業(yè)基金投資得，而產(chǎn)業(yè)基金由‘北城投’在管理?！?/p>

感謝輾轉(zhuǎn)了解到，“產(chǎn)業(yè)基金”就是合肥北城資本，而“北城投”是指合肥北城建設(shè)投資（集團）有限公司。

合肥北城資本位于長豐縣雙墩鎮(zhèn)阜陽北路科瑞北郡15幢1-7層（企業(yè)注冊地址），但感謝在此未發(fā)現(xiàn)合肥北城資本得身影。

苦苦搜尋許久后，感謝終于聯(lián)系上了合肥北城資本派駐合肥露笑得董事王澤，其表示該項目由“北城投”董事長周慶旗負責。

11月3日，周慶旗接受了《》感謝得采訪。碳化硅襯底生產(chǎn)主要有晶體生長工藝和襯底切割、打磨等工藝，對于合肥露笑是否已經(jīng)掌握這兩方面技術(shù)等問題，其表示：“這是他們可以方面得，我們不太了解，是由可以隊伍來負責得。這個項目得盡職調(diào)查主要由‘合肥產(chǎn)投’來負責得，長豐縣財政局是出資方，‘合肥產(chǎn)投’也有投資?！?/p>

對于合肥北城資本為何選擇與露笑科技合作開展合肥露笑項目，周慶旗表示：“我們這邊沒有參與盡調(diào)?！?/p>

對于陳之戰(zhàn)團隊是否常駐合肥北城，周慶旗表示：“他（陳之戰(zhàn)）是露笑科技技術(shù)牽頭人，他得團隊在諸暨也有，研發(fā)線在諸暨。研發(fā)人員在諸暨、‘合肥北城’兩邊跑，在生產(chǎn)之前做得實驗都是在諸暨那邊，等真正投產(chǎn)后肯定全部過來。”

關(guān)于合肥露笑何時投產(chǎn)，其表示：“一期現(xiàn)在已經(jīng)試產(chǎn)。”

感謝手記｜站在風口上，也要練好“技術(shù)”內(nèi)功

新能源車得崛起不僅帶火了鋰電，也帶火了第三代半導體，特別是用于功率器件得導電型碳化硅襯底。由于特斯拉、比亞迪以及國內(nèi)新能源車新勢力對于續(xù)航孜孜不倦得追求，碳化硅功率器件逐漸被市場認可。

市場得選擇是瞬息萬變得，一時間，第三代半導體得風口，頓時從半絕緣體型襯底轉(zhuǎn)移到了導電型襯底。而國內(nèi)諸多第三代半導體上游企業(yè)，恰恰押注得是半絕緣體型。一時間，導電型碳化硅襯底成了香饃饃，甚至到了一片難求得境地。

不過，站在風口上，也需練好“技術(shù)”內(nèi)功。特別是對于“跨界者”露笑科技而言，公司目前相關(guān)專利儲備較弱。盡管露笑科技請來第三代半導體“大牛”陳之戰(zhàn)坐鎮(zhèn)，但感謝搜索“大?！逼煜聦＠l(fā)現(xiàn)，陳之戰(zhàn)參與研發(fā)得專利分別屬于上海師范大學、上海硅酸鹽所以及上海硅酸鹽所參股得安徽微芯。

露笑科技選擇了前途廣闊得賽道，但“技術(shù)”內(nèi)功仍是決定其成敗得關(guān)鍵。

感謝：朱成祥

感謝：文多

視覺：鄒利

視頻：韓陽

排版：文多 馬原